2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[18p-PA12-1~10] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月18日(火) 16:00 〜 18:00 PA12 (アリーナ)

16:00 〜 18:00

[18p-PA12-3] 110億トランジスタの特性分布における±5.4σより外れたトランジスタの解析

水谷朋子,アニールクマール,平本俊郎 (東大生研)

キーワード:MOSFET,しきい値電流,ばらつき