2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.4 デバイス/集積化技術

[18p-PA12-1~10] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月18日(火) 16:00 〜 18:00 PA12 (アリーナ)

16:00 〜 18:00

[18p-PA12-6] 高移動度(111)B面をチャネルに有する三角形状InGaAs-OI nMOSFET

○入沢寿史1，小田穣1，池田圭司1，守山佳彦1，三枝栄子1，JevaswanWipakorn1，前田辰朗1，市川麿2，長田剛規2，宮本恭幸3，秦雅彦2，手塚勉1 (産総研GNC1，住友化学2，東工大3)

キーワード：InGaAs-OI,Multi-gate,MOSFET