[18p-PA6-1~5] 8.2 プラズマ診断・計測

[18p-PA6-4] プラズマ中の窒化ガリウム膜におけるフォトルミネッセンスの基板温度効果

小川大輔，中野由崇，^○中村圭二 (中部大工)

キーワード：プラズマダメージ,フォトルミネッセンス,窒化ガリウム