[18p-PA7-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[18p-PA7-1] ＵＶアシストHeプラズマによりエッチングしたn-GaN結晶の表面ダメージの分析

^○新部正人¹，平井翔大¹，川上烈生²，白濱達夫²，中野由崇³，向井孝志⁴ (兵庫県立大高度研¹，德島大院工²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

キーワード：Heプラズマ,Ultraviolet,GaN