[18p-PG10-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[18p-PG10-6] エレクトロマイグレーションを利用した直列接続型ナノギャップでの通電強度の検討

^○森原康平，伊藤光樹，須田隆太郎，豊中貴大，滝川主喜，白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード：ナノギャップ,集積化,エレクトロマイグレーション