[18p-PG6-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18p-PG6-9] MBEによるGaAs上への極薄結晶性AlO_xトンネルバリヤー層の形成

^○（P）西沢望，宗片比呂夫 (東工大像情報)

キーワード：トンネルバリア,GaAs,酸化アルミニウム