[18p-PG7-1~2] 15.7 エピタキシーの基礎

[18p-PG7-2] ミストCVD法を用いたGa2O3結晶成長における成長速度の温度依存性

^○田沼圭亮¹，杉本麻佑花¹，畠山匠¹，尾沼猛儀^1,2，山口智広¹，本田徹¹ (工学院大工¹，東京高専²)

キーワード：ミストCVD