2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16.非晶質・微結晶 » 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

2014年3月19日(水) 09:30 〜 12:30 D2 (D113)

12:15 〜 12:30

[19a-D2-11] フレキシブル基板上での単結晶シリコンMOSFETの作製

○(DC)酒池耕平,赤澤宗樹,中村将吾,東清一郎 (広大院 先端研)

キーワード:単結晶シリコン,MOSFET,転写