[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-D8-1] デバイスシミュレーションによる横型GaNパワーデバイスの極限オン抵抗の試算

^○寺山一真¹，中島昭²，西澤伸一²，大橋弘通²，角嶋邦之¹，若林整¹，筒井一生¹，岩井洋¹ (東工大¹，産総研²)

キーワード：GaNパワーデバイス,シミュレーション,オン抵抗