[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-D8-13] 層状BN剥離層を利用した銅板転写によるAlGaN/GaN HEMTの自己発熱効果の抑制

^○廣木正伸，熊倉一英，山本秀樹 (NTT物性研)

キーワード：GaN,HEMT,Transfer