2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:30 D8 (D215)

09:15 〜 09:30

[19a-D8-2] GaN基板上AlGaN/GaN HEMTを用いた縦方向リーク電流に関する考察

○田邉真一1，渡邉則之1，内田昌宏2，深田崇3，清見和正3，松崎秀昭1 (NTTフォトニクス研1，NTT-AT2，三菱化学3)

キーワード：GaN