2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:30 D9 (D315)

09:00 〜 09:15

[19a-D9-1] 貴金属触媒を用いた洗浄水からの酸化性物質除去による銅腐食の抑制

矢野大作1,村山雅美1,高橋昌男2,小林光2,山中弘次1 (オルガノ1,阪大産研2)

キーワード:超純水,腐食