[19a-E10-1~9] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19a-E10-4] a軸配向多結晶ZnOを用いたZnO-TFTの作製

^○大島直到，羽賀浩一，瀧澤義浩 (仙台高専)

キーワード：酸化亜鉛,酸化亜鉛,薄膜トランジスタ