[19a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-E13-10] 塩素中性粒子ビームを用いた窒化物薄膜のエッチング特性

^○太田実雄¹，HalubaiSekhar²，久保田智広²，岡田健^2,4，寒川誠二^2,3,4，藤岡洋^1,4 (東大生研¹，東北大流体研²，東北大WPI-AIMR³，JST-CREST⁴)

キーワード：nitride,エッチング