[19a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19a-E13-6] MOVPE法を用いた高品質AlInNの高速成長

^○（B）池山和希¹，小塚祐吾¹，安田俊輝¹，竹内哲也¹，上山智¹，岩谷素顕¹，赤﨑勇^1,2 (名城大・理工¹，名大・赤崎記念研究センター²)

キーワード：AlInN,MOVPE