[19a-F12-1~13] 13.4 デバイス/集積化技術

[19a-F12-11] 合成電界効果によるフィン型トンネルFETの性能向上

^○森田行則，森貴洋，右田真司，水林亘，田邊顕人，福田浩一，遠藤和彦，松川貴，大内真一，柳永勛，昌原明植，太田裕之 (GNC-AIST)

キーワード：トンネルFET,TFET,FinFET