[19a-F6-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[19a-F6-1] プラズマプロセス中のポリメタクリル酸メチル（PMMA）表面の実時間・その場電子スピン共鳴法による反応解析

^○（PC）宮脇雄大¹，王浩然¹，石川健治¹，近藤祐介¹，竹田圭吾¹，近藤博基¹，堀邊英夫²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，大阪市大²)

キーワード：電子スピン共鳴法