[19a-PG1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PG1-3] COガスを用いたRFプラズマCVD法によるDLC膜の特性評価

^○（B）安岡佑起¹，針谷達¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2，鈴木常夫³，斎藤秀俊³ (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²，長岡技科大³)

キーワード：一酸化炭素ガス,高周波プラズマ,炭素膜