[19a-PG5-1~8] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

△ [19a-PG5-5] パワーデバイス用結晶の評価（Ⅲ）パワーデバイス用GaNウエハのラマン散乱分光法による評価

^○安藤将吾，鈴木翔太，山本秀和 (千葉工大工)

キーワード：GaN,ラマン散乱分光法