2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19p-D6-1~18] 6.4 薄膜新材料

2014年3月19日(水) 13:45 〜 18:30 D6 (D209)

18:15 〜 18:30

[19p-D6-18] LiNbO3基板上におけるCr2O3薄膜の結晶成長および構造解析

中村拓未,黒田卓司,林佑太郎,隅田貴士,岩田展幸,山本寛 (日大理工)

キーワード:LiNbO3,Cr2O3,スパッタ