[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

△ [19p-D9-1] β-Si3N4/Si界面構造のモデル化と金属原子の安定性に関する第一原理解析

^○（M1）柴田大生¹，小林駿介¹，末岡浩治¹，小町潤²，嵯峨幸一郎² (岡山県大院情報系¹，ソニー²)

キーワード：β-Si3N4/Si界面構造,第一原理解析,金属不純物