[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-D9-10] リモート水素プラズマ支援によるMnおよびMnジャーマナイドナノドットの高密度一括形成

^○温映輝¹，牧原克典¹，大田晃生²，池田弥央³，宮崎誠一¹ (名大院工¹，名大VBL²，広大院先端研³)

キーワード：Mnジャーマナイド,リモート水素プラズマ