2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 D9 (D315)

14:45 〜 15:00

[19p-D9-4] チップ増強ラマン分光法による歪Si評価

小瀬村大亮1,富田基裕1,シティノルヒダヤーチェモハマドユソフ1,後藤千絵2,川口哲成2,三澤真弓2,小椋厚志1 (明治大理工1,ブルカーAXS2)

キーワード:チップ増強ラマン,歪Si