2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » 窒化物半導体特異構造の科学 〜成長・作製と新機能の発現〜

[19p-E13-1~17] 窒化物半導体特異構造の科学 〜成長・作製と新機能の発現〜

2014年3月19日(水) 13:00 〜 19:00 E13 (E301)

17:45 〜 18:00

[19p-E13-14] c面Al2O3基板上にMOVPE成長したGaNの異常分散X線回折による極性判定

花田貴1,2,稲葉克彦3,正直花奈子1,崔正焄1,片山竜二1,2,谷川智之1,2,窪谷茂幸1,松岡隆志1,2 (東北大金研1,JST-CREST2,リガクX線研3)

キーワード:窒化ガリウム,極性,X線回折