[19p-E13-1~17] 窒化物半導体特異構造の科学　〜成長・作製と新機能の発現〜

[19p-E13-17] 窒化物半導体結晶成長の表面反応制御と三次元構造デバイス（30分）

^○天野浩 (名大院工、ARC)

キーワード：窒化物半導体,表面反応