2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » 窒化物半導体特異構造の科学 〜成長・作製と新機能の発現〜

[19p-E13-1~17] 窒化物半導体特異構造の科学 〜成長・作製と新機能の発現〜

2014年3月19日(水) 13:00 〜 19:00 E13 (E301)

15:00 〜 15:15

[19p-E13-7] その場観察X線回折法を用いたGaInN/GaN超格子構造の最適化

○(M1)山本泰司1,飯田大輔1,近藤保成1,曽和美保子1,梅田慎也1,松原大幸1,岩谷素顕1,竹内哲也1,上山智1,赤﨑勇1,2 (名城大理工1,名古屋大赤﨑記念研究センター2)

キーワード:その場観察