[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-1] 全工程でミニマル装置を用いたMOSFET作製プロセス

^○居村史人¹，古賀和博¹，浅野均¹，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ¹，産総研²)

キーワード：ミニマルファブ