[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-15] ミニマルスパッタ装置におけるAl薄膜の成膜性

^○加藤旭彦^1,3，小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，薮田勇気³，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ¹，産総研²，誠南工業³)

キーワード：ミニマル