[19p-E5-1~21] 12.1 作製・構造制御

[19p-E5-15] ガスフロー蒸着により形成した高速成膜共蒸着発光層のOLED特性

^○継田浩平^1,5，江面知彦^1,5，柚木脇智⁴，安達千波矢^1,2,3,4 (九大OPERA¹，九大WPI-I2CNER²，九州先端研³，i3-OPERA⁴，東京エレクトロン⁵)

キーワード：ガスフロー蒸着,有機EL,高速成膜