[19p-E8-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-E8-9] 対向ターゲット式反応性スパッタ法によるNiO薄膜の特性評価

^○（M1）古谷靖明¹，河合舞²，野本隆宏²，坪井望^2,3 (新潟大自然研¹，新潟大工²，新潟大超域³)

キーワード：透明導電性酸化物