[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-16] FLA法を用いて作製した短チャネル多結晶Ge p-/n-MOSFETの実証

^○臼田宏治，鎌田善己，上牟田雄一，森貴洋，小池正浩，手塚勉 (産総研GNC)

キーワード：多結晶,Ge,MOSFET