[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）CH_xF_yプラズマエッチング時のSiO₂/Si界面準位の生成

^○重歳卓志，深沢正永，長畑和典，辰巳哲也 (ソニー)

キーワード：エッチング,ダメージ,プラズマ