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一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

14:15 〜 14:30

△ [19p-F6-2] LaAlSiO_xのドライエッチング特性

^○松田和久，佐々木俊行，大村光広，林久貴 (東芝 S&S社)

キーワード：LaAlSiOx,エッチング,プラズマ