[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-F6-3] 強磁性体金属材料エッチングにおける金属カルボニル生成の効果

^○溝谷浩平，三宅啓太，礒部倫郎，唐橋一浩，浜口智志 (阪大工)

キーワード：半導体,強磁性体,カルボニル