14:00 〜 14:15
[19p-F6-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）CHxFyプラズマエッチング時のSiO2/Si界面準位の生成
キーワード：エッチング,ダメージ,プラズマ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング
2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)
14:00 〜 14:15
キーワード：エッチング,ダメージ,プラズマ