2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

17:30 〜 17:45

[19p-F6-13] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状異常予測

久保田智広1,佐藤充男2,岩崎拓也3,小野耕平3,寒川誠二1,4 (東北大流体研1,原田産業2,みずほ情報送検3,東北大WPI-AIMR4)

キーワード:オンウェハセンサ,イオン軌道予測,イオンシース