[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-13] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状異常予測

^○久保田智広¹，佐藤充男²，岩崎拓也³，小野耕平³，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，原田産業²，みずほ情報送検³，東北大WPI-AIMR⁴)

キーワード：オンウェハセンサ,イオン軌道予測,イオンシース