[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-14] バイオテンプレートを用いた中性粒子ビーム加工によるGeナノディスク作製

^○エルマンモハマド^1,5，岡田健¹，磯田大河^3,5，伊藤公平^3,5，山下一郎^4,5，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，東北大WPI²，慶大³，奈良先端大⁴，JST-CREST⁵)

キーワード：neutral beam,ゲルマニウム