2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

18:30 〜 18:45

[19p-F6-17] CF4-x(x=0-3)化合物の超励起状態とイオン化

林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝 (名大)

キーワード:CFx ラジカル,超励起状態,イオン化閾値