[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-F6-4] CHxイオンによる透明電極材料エッチング反応

^○李虎¹，村木裕¹，唐橋一浩¹，深沢正永²，長畑和典²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大院工¹，ソニー²)

キーワード：透明電極材料,エッチング