[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-F6-5] CH_xF_yプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(IV)

^○（DC）近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，田嶋聡美，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：エッチング,ハイドロフルオロカーボン,プラズマ診断