[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-F6-6] 量産用プラズマエッチング装置における剥離パーティクルの突発的多量発生

^○笠嶋悠司，本村大成，鍋岡奈津子，上杉文彦 (産総研 生産計測)

キーワード：剥離パーティクル,電場応力,撃力