[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-F6-7] 高温における窒化ガリウム(GaN)のエッチング機構(4)

^○（M2）劉沢セイ，加古隆，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：エッチング,チッカガリウム