[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-10] 炭素クラスターイオン照射によるSiウェーハの近接ゲッタリング（1）-遷移金属に対するゲッタリング効果-

^○栗田一成，門野武，奥山亮輔，岩永卓郎，古賀祥泰，奥田秀彦 (ＳＵＭＣＯ)

キーワード：Gettering,Metal impurity,Carbon cluster ion beam