[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

△ [19p-F9-12] 炭素クラスターイオン照射によるSiウェーハの近接ゲッタリング（3）-p/p+エピウェーハでの遷移金属に対するゲッタリング効果-

^○岩永卓朗，門野武，奥山亮輔，古賀祥泰，奥田秀彦，栗田一成 (SUMCO)

キーワード：ゲッタリング,シリコンウェーハ,クラスターイオン