4:30 PM - 4:45 PM
[19p-F9-13] Effects of Light Element Ion Beam Implantation on Transition Metal Impurities Proximity Gettering of Silicon Wafers
Keywords:近接ゲッタリング,イオン注入,シリコンウェーハ
Oral presentation
15. Crystal Engineering » 15.8 Crystal evaluation, impurities and crystal defects
Wed. Mar 19, 2014 1:00 PM - 5:45 PM F9 (F401)
4:30 PM - 4:45 PM
Keywords:近接ゲッタリング,イオン注入,シリコンウェーハ