17:00 〜 17:15
[19p-F9-15] パワーデバイス用結晶の評価 （Ⅰ）パワーデバイス用Siウエハの300mm化に関する1考察
キーワード：パワーデバイス,シリコン
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
一般セッション(口頭講演)
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2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
17:00 〜 17:15
キーワード：パワーデバイス,シリコン