[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-4] Si結晶中の空孔機構による自己拡散の活性化エネルギー

^○末澤正志，飯島嘉明，米永一郎 (東北大金研)

キーワード：自己拡散,空孔,活性化エネルギー