14:15 〜 14:30
[19p-F9-6] シリコン結晶中のボロンによる酸素の増速拡散
キーワード：シリコン,酸素,拡散
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥
2014年3月19日(水) 13:00 〜 17:45 F9 (F401)
14:15 〜 14:30
キーワード：シリコン,酸素,拡散