[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-7] CZシリコンの格子間隔と結晶内酸素濃度の関係

張小威¹，^○阿部孝夫²，藤本弘之³ (KEK¹，SEH²，AIST³)

キーワード：酸素濃度,格子間隔,CZシリコン