[19p-PA2-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-4] 多層膜構造を用いたEDX分析におけるCu中のX線発生領域の測定

^○佐藤美那¹，松谷晃宏¹，曽根正人² (東工大半導体MEMSプロセス技術センター¹，東工大精研²)

キーワード：X線